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原子力显微镜的四大基本特性讲解

点击次数:111 发布时间:2021-02-22
   原子力显微镜虽名字中有“显微镜”三个字,却是个不折不扣的“冒牌货”,为啥呢?它并不像光学显微镜和电子显微镜那样利用电磁波或者微观粒子来“看”一个物体,而是通过一根小小的探针来间接地感知物体表面的结构。这根探针是一个长约100微米,宽约20微米的条状物,称其为悬臂。在悬臂的末端是一个更小的尖状物,末端的直径一般只有十几个纳米,我们称它为针尖。针尖和悬臂合起来构成了一个完整的原子力显微镜的探针,一般使用硅或者氮化硅作为材料。可以说探针是原子力显微镜关键的部件。
  原子力显微镜的四大特性说明:
  1.高分辨力
  能力远远超过扫描电子显微镜(SEM)以及光学粗糙度仪,样品表面的三维数据满足了研究、生产、质量检验越来越微观化的要求。
  2.非破坏性
  探针与样品表面相互作用力为10-8N以下,远比以往触针式粗糙度仪压力小,因此不会损伤样品,也不存在扫描电子显微镜的电子束损伤问题。另外扫描电子显微镜要求对不导电的样品进行镀膜处理,而原子力显微镜则不需要。
  3.应用范围广
  可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。
  4.软件处理功能强
  其三维图象显示其大小、视角、显示色、光泽可以自由设定。并可选用网络、等高线、线条显示。图象处理的宏管理,断面的形状与粗糙度解析,形貌解析等多种功能。
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